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多晶铸锭炉石墨热场中使用的石墨加热器、侧板、底板、电极、支撑杆等部件。
在还原炉中沉积多晶硅用的高纯度等静压石墨卡瓣、石墨喷嘴、石墨底座:氢化炉中使用的石墨发热棒。
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