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◆在CZ直拉单晶硅石墨热场中通常会用到高纯度等静压石墨：如保温罩、加热器、三瓣石墨坩埚、埚托、导流筒、石墨电极、电极螺母等。

◆用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

◆用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用sic涂层石墨基座。

◆离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

◆感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

◆蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。